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PRODUCT DETAIL

无掩模光刻机 Mk2

名称
无掩模光刻机
型号
Mk2
货号
待补充
系列
光刻机
品牌产地
POLOS 荷兰
POLOS生产的BEAM XL Mk2无掩模光刻机
-0.1 µm 重复性和 6" 平台行程
-0.8 微米分辨率

特点
- 20x/0.75 NA 尼康紫外校正物镜
- 用于样品观察和多层对准的外延照明
- 全高清 120 FPS CMOS 摄像机,用于实时和无延迟观察
- 光学器件内置闭环自动对焦功能
- 压电驱动 Z 轴,实现快速自动对焦
- 用于系统控制的单 USB 3.1 接口

规格
- 最小线宽:0.8 微米
- 平台双向重复性:0.1 微米
- 曝光波长:405 纳米
- 最大写入区域:400 微米
- 写入区域 155 * 155 毫米(兼容 6 英寸)
- 随附 BEAM Xplorer 软件
- 包括高性能笔记本电脑。

产品问答

咨询无掩模光刻机 Mk2时需要提供哪些信息?

请提供产品名称、型号 Mk2、使用场景、数量及交付地点,便于核对配置并提供询价信息。

无掩模光刻机 Mk2的技术参数和配置如何确认?

可先查看本页产品介绍、技术参数和资料下载内容。最终规格、配置及兼容性应结合POLOS的有效产品资料和具体应用要求确认。

无掩模光刻机 Mk2是否提供技术与售后支持?

武汉提沃克科技有限公司可依据产品品牌、供货范围和客户需求,提供产品选型、资料沟通、供货及相应的技术与售后服务。